一种离子注入机的质量分析器清理机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子注入机的质量分析器清理机构，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扇形均匀场磁铁本体，所述底座的右侧设置有动力机构，所述动力机构包括粘合在扇形均匀场磁铁本体底部的空心管，所述空心管的内腔转动连接有转动柱。本实用新型通过动力机构的驱动，在转动板和壳体的配合使用下，使得三角刮板和毛刷对扇形均匀场磁铁本体表面所吸附的杂质进行刮动，即可达到自动清理和清理效果好的目的，解决了在实际的使用过程中，由于扇形均匀场磁铁的磁性，其表面常会吸附有大量的灰尘杂质，若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理，将会影响质量分析器的使用，继而影响离子注入机正常使用的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种离子注入机的质量分析器清理机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021118839.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-19
授权号 ：
CN212209417U
授权日 ：
2020-12-22
发明人 ：
王作义马洪文魏关成高万智杨虎陈小铎
申请人 ：
广奕电子科技（宁波）有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号2号楼203-10室
代理机构 ：
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈佳
优先权 ：
CN202021118839.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-12-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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