一种离子注入机用护板
授权
摘要
本实用新型涉及离子注入机技术领域,具体公开了一种离子注入机用护板,包括离子机工艺腔,离子机工艺腔内壁顶部固定安装有第一导辊体,离子机工艺腔内壁底部固定安装有第二导辊体,第一导辊体和第二导辊体外部活动安装有防护筒体,离子机工艺腔内壁固定安装有第一限位座和第二限位座。本实用新型通过防护筒体对离子机工艺腔内壁进行防护,当防护筒体内壁粘附较多的离子时,可通过去离子水管往第二限位座和防护筒体形成的腔体内部充入去离子水,并且配合马达电机带动清洗刷体旋动,可提升防护筒体内壁的清洁质量,使用后的去离子水可从排水管排出,该结构不需要拆卸离子机工艺腔和防护筒体,并且不需要停机便可清理防护筒体内壁粘附的离子。
基本信息
专利标题 :
一种离子注入机用护板
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123364765.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
CN216671557U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
张玲
申请人 :
扬州信尚电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市邗江区西湖镇美湖路9号-17-1
代理机构 :
北京深川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
安媛媛
优先权 :
CN202123364765.8
主分类号 :
H01J37/317
IPC分类号 :
H01J37/317 H01J37/02 B08B1/02 B08B3/10 B08B13/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的,如离子注入
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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