离子注入机、离子注入机的机械手臂及其互锁解除电路
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子注入机、离子注入机的机械手臂及其互锁解除电路，互锁解除电路包括或非门、第一三极管、稳压二极管、开关、第一电源及机械手臂马达制动系统；或非门的输入端接收多路输入信号，或非门的输出端与第一三极管的基极电连接，第一三极管的发射极与稳压二极管的正极电连接，稳压二极管的负极以及第一电源均与第一三极管的集电极电连接，第一三极管的集电极与机械手臂马达制动系统电连接，开关与稳压二极管并联；机械手臂马达制动系统接收高电平信号时，制动马达，接收低电平信号时解除制动。本实用新型通过在互锁解除电路稳压二极管处并联接入开关，开关闭路时解除马达制动，避免了误操作的发生，提高了故障处理效率。
基本信息
专利标题 ：
离子注入机、离子注入机的机械手臂及其互锁解除电路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020553996.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-15
授权号 ：
CN211744441U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
白磊张伟曹雷俊
申请人 ：
上海先进半导体制造有限公司
申请人地址 ：
上海市徐汇区虹漕路385号
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN202020553996.X
主分类号 ：
H03K17/567
IPC分类号 ：
H03K17/567 B25J9/16 H01J37/317 H01J37/02
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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