本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机清洗装置，包括离子源反应室外壳体，离子源反应室外壳体的内腔侧壁上开设有控制槽，控制槽一侧的离子源反应室外壳体上开设有导流管，控制槽中设置有控制盘，控制盘为圆台状，控制盘的圆台上底面中部开设有压力腔，压力腔中设置有圆板状的拦截板、控制杆和弹簧，控制杆的一端和拦截板中部固定连接，控制杆的另一端与控制槽的凹槽底面固定连接，控制杆的外部活动套接有弹簧，本实用新型构造设计实现清洗气体在离子源反应室外壳体内腔中的均匀扩散，进而实现离子源反应室外壳体内壁上表面材料以及离子源反应室外壳体中的装置表面材料与清洗气体稳定发生反应，避免沉积物的产生。