一种离子注入机映像装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子注入机映像装置，其特征在于，包括发射装置和接收装置，所述发射装置与所述接收装置设置在待映像物体的两侧，所述发射装置为激光发射器。本实用新型提供的技术方案，使用激光发射器，更简单高效地映像出晶圆数量，节省人力物力的同时，提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种离子注入机映像装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921555563.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-18
授权号 ：
CN211350566U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
金明何伟黄帅曦黄鹏
申请人 ：
和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨帆
优先权 ：
CN201921555563.1
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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