本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机检测装置，包括扫描盘，扫描盘的周围环设有若干均匀分布的控制装置，控制装置一端和扫描盘连接,控制装置上设置有法拉第杯，控制装置包括手柄、丝杆、外筒、弹簧、控制盒和固定座，丝杆的一端固定连接有手柄,丝杆的另一端延伸到外筒中，外筒形状为一端开口的圆柱壳体结构，外筒的内腔中设置有弹簧和控制盒，控制盒位于外筒的开口端位置，控制盒的一端接触有弹簧,弹簧的一端抵在外筒的凹槽底面，本实用新型构造设计实现法拉第杯快速和扫描盘实现空间位置同步固定，操作简单，需要旋转手柄，即可完成法拉第杯的快速脱离和结合，节省了大量时间，提高离子注入机的工作效率。