本实用新型属于测量技术领域，具体公开了离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置，包括真空制程舱本体和水平仪检测探头，所述真空制程舱本体的正面设置调整板，所述调整板两端对称固定连接有连接板，所述连接板一侧设置有拉块，所述拉块一侧固定连接有拉杆，所述拉杆一端穿过连接板并连接有夹持块，所述夹持块一侧与真空制程舱本体相互贴合，所述拉杆外侧套设有夹紧弹簧，所述夹紧弹簧两端分别连接有连接板和夹持块，所述调整板正面中间的位置开设有贯通的滑槽，所述滑槽上方均匀开设有多个固定螺孔，本实用新型有效的解决了晶片承载器中的传感器所测量的数据与实际晶片的位置状况不一致，不便于安装测量探头的问题。