一种靶盘

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种靶盘，包含底座以及安装于底座上的固定柱，所述底座一侧设有空槽，所述空槽内设有从硅片外侧将硅片压紧在所述固定柱上的的压紧件，所述压紧件包括连接杆、压片簧、卡杆及卡杆弹性件；所述连接杆横贯于空槽间，所述压片簧与卡杆呈一角度以连接杆为轴设于连接杆上，所述连接杆上还设有与卡杆相连的卡杆弹簧。所述卡杆呈数字“7”的形状。在本实用新型中，卡杆以连接杆为轴转动，从硅片的边缘外侧卡紧硅片，避免直接压在硅片的正面，降低了硅片碎片的情况，且注入时没有盲区，全片都可以均匀注入，提高了芯片成品率。此外，本实用新型使用灵活，操作简单，维修方便，且其卡紧件设置在底座的空槽处，不改变原有靶盘的结构，改造成本低，易于推广。

基本信息

专利标题：

一种靶盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820095690.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-07-21

授权号：

CN201247756Y

授权日：

2009-05-27

发明人：

李泉水

申请人：

深圳深爱半导体有限公司

申请人地址：

518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

郑小粤

优先权：

CN200820095690.3

主分类号：

H01J37/317

IPC分类号：

H01J37/317 H01L21/687 H01L21/265