一种干泵尾管和离子注入机
公开
摘要
本发明提供一种干泵尾管和离子注入机，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵以及连接所述干泵的干泵净化管路，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体、干泵尾管净化管路和排气管路；其中，所述第一干泵尾管本体的一端连接所述干泵；所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路；所述干泵尾管净化管路的进气端连接所述干泵净化管路，所述干泵尾管净化管路的出气端连接所述第一干泵尾管本体。本发明提供的干泵尾管和离子注入机能够减少所述排气管路内的磷源种的浓度，降低所述排气管路受热融化导致机台报警等安全问题，从而增加所述干泵尾管的寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种干泵尾管和离子注入机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300330A
申请号 ：
CN202111626346.9
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金志豪张新建张聪
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周耀君
优先权 ：
CN202111626346.9
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
