用于晶片接地的方法、设备和系统
实质审查的生效
摘要

公开了用于晶片接地和晶片接地位置调节的系统和方法。第一方法可以包括:接收与通过电信号接地的晶片相关联的电特性的第一值;使用至少第一值确定第一控制参数;以及使用第一控制参数和第一值控制电信号的特性。用于调节晶片的接地位置的第二方法可以包括:终止晶片与接触晶片的至少一个接地引脚之间的电连接;调节晶片与接地引脚之间的相对位置;以及恢复接地引脚与晶片之间的电连接。第三方法可以包括:引起接地引脚通过撞击穿透晶片上的涂层;以及在接地引脚与晶片之间建立电连接。

基本信息
专利标题 :
用于晶片接地的方法、设备和系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114287051A
申请号 :
CN202080060552.5
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2020-08-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王義向刘士兵曹善会邱康生窦菊英罗映李瀛龙李强R·范德威尔克J-G·C·范德托恩
申请人 :
ASML荷兰有限公司
申请人地址 :
荷兰维德霍温
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
赵林琳
优先权 :
CN202080060552.5
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20  H01J37/317  H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/20
申请日 : 20200825
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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