污染物粒子收集板以及离子注入装置
实质审查的生效
摘要
本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种污染物粒子收集板以及离子注入装置，包括板体，所述板体包含石墨材质，所述板体至少部分表面构成为锯齿状。本申请中的污染物粒子收集板可以降低离子束中污染物颗粒的行进速度，进而从离子束中收集污染物粒子。
基本信息
专利标题 ：
污染物粒子收集板以及离子注入装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114334592A
申请号 ：
CN202011061620.8
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴兴雨李河圣朱宁炳刘金彪刘青王垚张琦辉李琳
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
金铭
优先权 ：
CN202011061620.8
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/317
申请日 : 20200930
申请日 : 20200930
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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