一种离子注入机的分析磁场单元
授权
摘要
本实用新型提供了一种离子注入机的分析磁场单元，包括离子输送管和动力机构；所述离子输送管包括入口和出口，所述离子输送管的内部设置有磁场，所述离子输送管的弯曲角度可调节，所述离子输送管的入口和出口至少一个位置可调节；所述动力机构与所述离子输送管连接，所述动力机构用于调节所述离子输送管的弯曲角度。所述分析磁场单元可以筛选出不同种类的离子，在不改变磁场强度的情况下，增加了筛选出的离子的能量范围；由于磁场强度不需要额外增加既可获得高能量的离子，这样降低了电能消耗，达到了节能降耗、绿色生产的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种离子注入机的分析磁场单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122735099.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
CN216213253U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
颜伟未朱红波黄家明
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区中新广州知识城凤凰五路28号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯启正
优先权 ：
CN202122735099.8
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01L21/67 H01L21/265
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
