一种程控离子源电源中和电流显示组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种程控离子源电源中和电流显示组件，包括：一霍尔离子源设备；所述霍尔离子源设备内部的电路板上分别设置有中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块和终端，所述中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块对应的电子元件或电子组件皆串连在所述霍尔离子源设备内部的电路板上。本实用提供的程控离子源电源中和电流显示组件，通过中和电流显示组件对霍尔离子源设备运行中的中和电流的大小，从而确定离子源能量的大小，并通过显示屏进行显示，方便使用者在生产过程中及时的去发现并控制中和电流的大小，避免脱膜和镀膜产品上起点损坏问题的发生，保证了镀膜的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种程控离子源电源中和电流显示组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920952334.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-24
授权号 ：
CN209947790U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
薛照明李围红李成千薛海
申请人 ：
成都金雅克电气有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市武侯区武侯新管委会武青南路40号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920952334.7
主分类号 ：
H01J27/14
IPC分类号 ：
H01J27/14
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J27/00
离子束管
H01J27/02
离子源；离子枪
H01J27/08
应用电弧放电的
H01J27/14
用外加磁场的其他电弧放电离子源
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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