一种程控离子源中和电流稳定组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种程控离子源中和电流稳定组件，包括：一电路箱，所述电路箱内部分别设置有单片机、直流互感器、比较器、PID调控器和隔离电路板，并通过连接导线将输出端与输入端电性连接；一触摸屏，所述触摸屏位于所述电路箱上，并与所述单片机通过数据连接线相连接；一质量流量计，所述质量流量计与所述隔离电路板通过连接导线电性连接，所述质量流量计的输出端与单片机通过连接导线电性连接。本实用提供的程控离子源中和电流稳定组件，通过比较器对比电路中的中和电流和模拟电流，并进行检查和调整，从而利用改变充气量的多少实现了对中和电流大小的调整，达到稳定中和电流的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种程控离子源中和电流稳定组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920952326.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-24
授权号 ：
CN209947789U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
薛照明李围红李成千薛海
申请人 ：
成都金雅克电气有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市武侯区武侯新管委会武青南路40号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920952326.2
主分类号 ：
H01J27/14
IPC分类号 ：
H01J27/14 H01J27/02 G01R19/00 G01F1/76
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J27/00
离子束管
H01J27/02
离子源；离子枪
H01J27/08
应用电弧放电的
H01J27/14
用外加磁场的其他电弧放电离子源
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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