本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括：连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极。其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。本实用新型结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗离子溅射污染性能特点；加速电极镶嵌式结构更换操作方便，解决了以前一般引出电极系统的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。