离子源引出缝调节控制系统
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要

本实用新型公开了一种离子源引出缝调节控制系统,包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路,其中模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接,另一端与反馈控制驱动电路连接,反馈控制驱动电路与电机连接;模拟量控制电路将主控制器发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路,反馈控制驱动电路将电压信号进行处理后,驱动电机运动,电机带动引出缝在三个方向上移动到目标位置,电位器装在直流电机的转轴上,直流电机上装有丝杆。本实用新型将控制信号与反馈信号通过运算放大器的比较输出,消除了干扰信号引起的电压突变的状况,从硬件上解决了输出控制信号的抗干扰问题。

基本信息
专利标题 :
离子源引出缝调节控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620113054.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-04-24
授权号 :
CN200964436Y
授权日 :
2007-10-24
发明人 :
谢均宇孙勇王玮琪王迪平
申请人 :
北京中科信电子装备有限公司
申请人地址 :
100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段
代理机构 :
北京中海智圣知识产权代理有限公司
代理人 :
曾永珠
优先权 :
CN200620113054.X
主分类号 :
C23C14/54
IPC分类号 :
C23C14/54  H01J37/317  H01L21/265  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2009-06-24 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-10-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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