本发明提供一种控制离子源引出粒子密度的调节装置及其控制方法。该调节装置包括第一法兰、第二法兰、绝缘杆、耦合线圈、玻璃筒、放电腔体、压缩板、进气管、卡紧机构、滑台导轨、连接杆和密封圈，第一法兰、第二法兰和玻璃筒通过密封胶圈连接，从而在玻璃筒中形成放电腔体，放电腔体为等离子体产生腔体，放电腔体工作时与外界空气隔绝，第一法兰、第二法兰与若干绝缘杆通过螺纹连接，第一法兰一端与卡紧机构一端通过卡箍紧密连接。本发明通过远程控制端控制滑台导轨带动压缩板运动，从而控制放电腔体的体积，在保证人员安全情况下，可以达到自由控制放电腔体大小的目的。