测量二维离子束轮廓的装置及其方法
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摘要
本发明提供用于测量一离子束的一轮廓的方法及其装置。该装置包括：一离子束电流感测器(124)的阵列(22)，每一离子束电流感测器回应于前述离子束的入射离子而产生一感测器讯号；一移动机构(112)，其用以使前述离子束电流感测器阵列相对于前述离子束沿一移动路径移动；以及一控制器(114)，其用以获取由前述离子束电流感测器在沿前述移动路径的多个位置处所产生的感测器讯号，其中前述所获取的感测器讯号表示前述离子束的一个二维轮廓。
基本信息
专利标题 ：
测量二维离子束轮廓的装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101167153A
申请号 ：
CN200580044926.X
公开（公告）日 ：
2008-04-23
申请日 ：
2005-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
葛登·C·恩吉尔爱德华·D·梅克英特汤玛斯·A·夏德福
申请人 ：
瓦里安半导体设备公司
申请人地址 ：
美国麻萨诸塞州
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
寿宁
优先权 ：
CN200580044926.X
主分类号 ：
H01J37/304
IPC分类号 ：
H01J37/304 H01J37/317 H01J37/244 G01T1/29
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/304
由来自物体的信息控制电子管的，如校正信号
法律状态
2010-09-29 ：
授权
2008-06-18 ：
实质审查的生效
2008-04-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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