离子束注入器扫描控制系统

专利权的终止未缴年费专利权终止

摘要

本发明涉及一种利用两对互相垂直的扫描电极(26、28)的离子柬注入系统。频率大致相同的两个锯齿波形B加到扫描电极上，以产生四边形扫描图形C。改变这些扫描图形的尺叶，来扫出一能对圆形晶片作均匀注入的扫描图形。用使扫描电压扰动的方法，来调节束的即时速度，以补偿小的剂量不均匀性。

基本信息

专利标题：

离子束注入器扫描控制系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN87106497A

申请号：

CN87106497.9

公开（公告）日：

1988-07-20

申请日：

1987-09-23

授权号：

CN1012403B

授权日：

1991-04-17

发明人：

道格拉斯·迪恩·米罗恩

申请人：

伊顿公司

申请人地址：

美国俄亥俄州

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利代理部

代理人：

邓明

优先权：

CN87106497.9

主分类号：

H01J37/302

IPC分类号：

H01J37/302 H01J37/28 H01L21/265

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/30

物体局部处理用的电子束管或离子束管

H01J37/302

用外部信息控制电子管的，如程序控制

法律状态

2004-11-24 ：

专利权的终止未缴年费专利权终止

2002-03-20 ：

其他有关事项

2000-10-18 ：

著录项目变更

变更事项 : 专利权人
变更前 : 伊顿公司
变更后 : 艾克塞利斯技术公司
变更前 : 美国俄亥俄
变更后 : 美国马萨诸塞州
变更事项 : 地址

1996-02-28 ：

著录项目变更

变更事项 : 申请人
变更前 : 梅兰日兰公司
变更后 : 施内德电气公司
变更事项 : 地址
变更前 : 法国格勒诺希尔
变更后 : 法国布龙内-比尔兰库

1991-12-11 ：

授权

1991-04-17 ：

审定

1990-01-03 ：

实质审查请求

1988-07-20 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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2、

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