一种聚焦离子束扫描电子显微镜可旋转低温样品台
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种聚焦离子束扫描电子显微镜可旋转低温样品台,包括样品台本体和样品载台组件,所述样品台本体上设有燕尾槽,所述样品载台组件包括燕尾槽接头,所述燕尾槽与燕尾槽接头配合,实现样品台本体和样品载台组件的紧密贴合。本发明通过样品台冷却通道的优化设计以及滚动与滑动摩擦相结合的传动方案,可在实现360度旋转的同时大大提高冷却效率;另一方面,通过独特的传动机构设计可以实现样品台在保持自身体积不变的前提下,一次装载四个样品,比现有产品效率提升一倍;再者,通过引入加热元件辅助温控系统的精细调节,可以提供一种控温精确的低温样品台解决方法。

基本信息
专利标题 :
一种聚焦离子束扫描电子显微镜可旋转低温样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114527152A
申请号 :
CN202111636752.3
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王宏涛李克强
申请人 :
浙江大学杭州国际科创中心
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号
代理机构 :
杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人 :
孙孟辉
优先权 :
CN202111636752.3
主分类号 :
G01N23/2204
IPC分类号 :
G01N23/2204  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/2204
样品支架;样品的输送方法
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/2204
申请日 : 20211229
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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