基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统
授权
摘要
本实用新型涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括样品台、低温冷头以及气源；所述样品台设置于所述容器上，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量，所述气源用于为所述容器提供气体，所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部，所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。该基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，基于低温液体潜热制冷，在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后，系统处于零振动状态，并且样品台能够长时间维持在设定温度，温度波动范围也很小。
基本信息
专利标题 ：
基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920718887.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN209804584U
授权日 ：
2019-12-17
发明人 ：
陈六彪王俊杰郭嘉季伟顾开选
申请人 ：
中国科学院理化技术研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村东路29号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
苗青盛
优先权 ：
CN201920718887.6
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/26 F25D3/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-12-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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