一种扫描电子显微镜样品台
授权
摘要
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜样品台，其不同之处在于：其包括呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。本实用新型利用各放置台面的度数偏差来实现多角度、特定角度的样品观测。
基本信息
专利标题 ：
一种扫描电子显微镜样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920412225.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN209859911U
授权日 ：
2019-12-27
发明人 ：
翟浩王岩罗帅季海铭
申请人 ：
江苏华兴激光科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧
代理机构 ：
武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓寅杰
优先权 ：
CN201920412225.6
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-12-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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