扫描电子显微镜样品固定装置
授权
摘要
本实用新型公开了扫描电子显微镜样品固定装置。该固定装置包括:多孔样品台、样品座和固定组件,多孔样品台包括上下布置的凹槽和第一支柱,凹槽内表面的底壁上设有多个固定孔,凹槽的侧壁上设有多个贯穿侧壁的螺孔,第一支柱适于与样品舱匹配相连;样品座包括样品固定平台和多个第二支柱,多个第二支柱设在样品固定平台底部并与固定孔一一对应,样品固定平台上任意两点之间在凹槽底壁上的正投影的距离不大于凹槽的内径;固定组件包括多套配套使用的螺栓和螺母,螺栓与螺孔匹配,螺栓可穿过螺孔并止抵于第二支柱,螺母适于固定螺栓与第二支柱。该装置可以避免检测样品时待测样品易掉落至电镜的真空腔内从而对样品舱及电子枪造成污染的问题。
基本信息
专利标题 :
扫描电子显微镜样品固定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122574741.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-25
授权号 :
CN216285003U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
徐国钻林丽萍黄春燕黄月玲
申请人 :
崇义章源钨业股份有限公司
申请人地址 :
江西省赣州市崇义县城塔下崇义章源钨业股份有限公司
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
尚伟净
优先权 :
CN202122574741.9
主分类号 :
G01N23/2204
IPC分类号 :
G01N23/2204 G01N23/2251
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/2204
样品支架;样品的输送方法
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载