一种扫描电子显微镜的样品转移盒

授权

摘要

本实用新型公开了一种扫描电子显微镜的样品转移盒，包括带有腔体的壳体、观察舱，所述观察舱滑动设置在壳体内，所述壳体上设置有方便观察观察舱内物品的缺口，所述壳体和观察舱分别为非磁性壳体和非磁性观察舱，所述观察舱内的腔体和壳体内的腔体导通，所述观察舱上设置有单项气阀，所述观察舱上设置有用于壳体和观察舱密封的气密胶圈，所述观察舱和壳体之间设置有非磁性弹性件，所述非磁性弹性件用于将观察舱从壳体内推出且观察舱不离开壳体。本实用新型，通过使用无磁材料制造的样品盒和弹性件，避免了磁性材料对样品的观测结果产生的成像影响，从而利于观测的准确性。

基本信息

专利标题：

一种扫描电子显微镜的样品转移盒

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921890783.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-05

授权号：

CN210668268U

授权日：

2020-06-02

发明人：

沈经纬

申请人：

上海耐默光电技术有限公司

申请人地址：

上海市闵行区元江路3599号2幢1楼106室

代理机构：

上海海贝律师事务所

代理人：

范海燕

优先权：

CN201921890783.X

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20