测试样品的固定装置和扫描电子显微镜

专利权的终止

摘要

本发明提供了一种测试样品的固定装置，应用于半导体芯片测试，可以包括以下部件：固定部、压紧部和底座；所述固定部包括一垂直于底座的固定壁，所述固定部设置在底座上，压紧部包括一垂直于底座的活动壁；固定壁、活动壁以及底座之间形成的空间用于固定测试样品。本发明结构简单，成本低廉，由于采用机械的方式将样品固定在固定装置上，样品不会在扫描过程中出现振动，所以可以提高SEM的成像质量；由于固定样品的宽度是可调的，所以可以适用于在一次研磨过程中制造一个或者多个样品，从而可以提高样品制造效率，提高样品测试的速度。

基本信息

专利标题：

测试样品的固定装置和扫描电子显微镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101030518A

申请号：

CN200610024312.1

公开（公告）日：

2007-09-05

申请日：

2006-03-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

陈险峰葛挺锋秦天邹丽君

申请人：

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

优先权：

CN200610024312.1

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/28 H01L21/66 G02B21/34

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/02

零部件

H01J37/20

物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置

法律状态

2020-03-10 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01J 37/20
申请日 : 20060302
授权公告日 : 20090909
终止日期 : 20190302

2011-12-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101238306310
IPC(主分类) : H01J 37/20
专利号 : ZL2006100243121
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
登记生效日 : 20111108

2009-09-09 ：

授权

2007-10-31 ：

实质审查的生效

2007-09-05 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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