一种扫描电子显微镜的样品仓
授权
摘要
本实用新型提供了一种扫描电子显微镜的样品仓，其减少整体的抽真空时间且能达到样品仓高真空度要求，提高电镜工作效率同时保证整体电镜的可靠性。安装壳体的朝向样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁。
基本信息
专利标题 ：
一种扫描电子显微镜的样品仓
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021393773.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-15
授权号 ：
CN212725219U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
张凡凡戴晓鹏赫松龄张伟贺羽
申请人 ：
无锡量子感知研究所
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号
代理机构 ：
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 ：
杜丹盛
优先权 ：
CN202021393773.8
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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