基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统
授权
摘要
本实用新型涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域,提供基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统,包括:容器、第一真空腔体和第二真空腔体,还包括样品台、低温冷头以及液体源;所述样品台设置于所述容器的上方,所述低温冷头用于为所述容器提供冷量,所述液体源用于为所述容器提供液体,所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部,所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。该基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统,由液体转化的低温固体的潜热制冷以实现样品台的温度的调控,在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后,系统处于零振动状态,并且样品台能够长时间维持在设定温度,温度波动范围很小。
基本信息
专利标题 :
基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920719106.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-17
授权号 :
CN209804586U
授权日 :
2019-12-17
发明人 :
陈六彪王俊杰郭嘉崔晨顾开选
申请人 :
中国科学院理化技术研究所
申请人地址 :
北京市海淀区中关村东路29号
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
苗青盛
优先权 :
CN201920719106.5
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20 H01J37/26 F25D3/02 F25D3/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-12-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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