无磁环境扫描电子显微镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种无磁环境扫描电子显微镜，包括：样品台，用于放置样品；电子源，用于产生电子束；聚光镜，用于所述电子源产生的电子束进行第一级汇聚；磁透镜，设于所述聚光镜与样品台之间；且所述磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离为100mm‑200mm，所述磁透镜用于对所述聚光镜汇聚后的电子束的进行第二级汇聚；静电透镜，设于所述磁透镜与所述样品台之间，用于对经所述磁透镜汇聚后的电子束进行聚焦；及电子探测器。上述无磁环境扫描电子显微镜，通过将磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离设为100mm‑200mm，使磁性样品不受磁透镜的磁场影响，有效确保样品台上的磁性样品保持原有的磁化状态。
基本信息
专利标题 ：
无磁环境扫描电子显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921813544.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN210403653U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
姚莉顾斌宾朱玉宝
申请人 ：
苏州优波光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区中银惠龙大厦1幢3201室
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
刘宁
优先权 ：
CN201921813544.4
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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