用于扫描电子显微镜应用的传感器模块
公开
摘要
公开一种扫描电子显微镜(SEM)系统。所述SEM系统包含经配置以产生电子射束的电子源及经配置以跨样本扫描所述电子射束且将通过所述样本散射的电子聚焦到一或多个成像平面上的一组电子光学器件。所述SEM系统包含定位于所述一或多个成像平面处的第一检测器模块，其中所述第一检测器模块包含经配置以将来自所述样本的例如电子及/或x射线的散射粒子转换成一组等效信号电荷的多像素固态传感器。所述多像素固态传感器连接到经配置以处理来自所述传感器的一或多个像素的所述组信号电荷的两个或更多个专用集成电路(ASIC)。
基本信息
专利标题 ：
用于扫描电子显微镜应用的传感器模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114365257A
申请号 ：
CN202080060224.5
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·特伦颇
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080060224.5
主分类号 ：
H01J37/244
IPC分类号 ：
H01J37/244 H01J37/26 H01J37/28 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/244
检测器；所采用的组件或电路
法律状态
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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