一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置,属于电子技术领域,包括密封室,所述密封室上方配合连接有密封盖,所述密封室与密封盖之间设置有门阀,所述密封盖顶部设置有透镜,所述透镜下方设置有消像散器,所述密封室两侧安装有伸缩机构,所述伸缩机构一端安装有防反光板,所述密封室底部设置有底座,所述密封室外部安装有万能表,所述万能表与底座之间设置有陶瓷导线。本实用新型该装置在使用过程中,能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果,且内部的测量数据准确,避免造成实验时的数据产生偏差,能够正常投入使用。
基本信息
专利标题 :
一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121940539.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-18
授权号 :
CN216434204U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
赵志军
申请人 :
精典电子股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区泰谷路169号C座1层
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
竹励萍
优先权 :
CN202121940539.7
主分类号 :
G01R19/00
IPC分类号 :
G01R19/00 G01R1/04 G01N23/2251
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R19/00
用于测量电流或电压或者用于指示其存在或符号的装置
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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