电子束感生电流样品台
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
电子束感生电流样品台是扫描电镜中用于对半导器件的p-n结进行观察和研究的装置，它是为解决应用普通样品测角台电子束感生电流信号引出困难而设计，该装置是将吸收电流放大器作为信号的一个引出端，另一个引出端通过样品夹具、弹簧、接触弹片、表面导电环等部件与吸收电流引出装置构成电流引出回路。本实用新型应用普通样品测角台，不影响其它信号及样品的观察，样品更换简单，移动不受限制，可进行平面、断面的电子束感生电流信号观察。
基本信息
专利标题 ：
电子束感生电流样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN88214251.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1988-09-23
授权号 ：
CN2050657U
授权日 ：
1990-01-03
发明人 ：
赵永生
申请人 ：
赵永生
申请人地址 ：
吉林省长春市吉林大学测试中心
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN88214251.8
主分类号 ：
H01J37/02
IPC分类号 ：
H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
法律状态
1992-01-08 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1990-10-10 ：
授权
1990-01-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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