扫描电子显微镜温度调节系统
授权
摘要
本实用新型涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供扫描电子显微镜温度调节系统，包括：加热元件、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括低温冷却装置和样品台，所述低温冷却装置用于为所述样品台提供冷量，所述加热元件用于为所述样品台提供热量，所述低温冷却装置位于所述第一真空腔体的内部，所述加热元件和所述样品台均位于所述第二真空腔体的内部。该扫描电子显微镜温度调节系统通过低温冷却装置为样品台提供冷量，加热元件为样品台提供热量，能够实现样品台的宽温区覆盖和高精度控温。
基本信息
专利标题 ：
扫描电子显微镜温度调节系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920718989.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN209804585U
授权日 ：
2019-12-17
发明人 ：
陈六彪王俊杰崔晨顾开选
申请人 ：
中国科学院理化技术研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村东路29号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
苗青盛
优先权 ：
CN201920718989.8
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/26 G05D23/30
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-12-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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