场致发射扫描俄歇电子显微镜
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
俄歇电子显微镜装有场致发射尖头(10)，维持在样品(7)的表面上相距一基本恒定的距离处。尖头(10)可由尖端半径为～50nm的钨(100)触须所组成，其工作距离的数量级为1mm。从样品(7)表面发射的俄歇电子由电子能量分析器(11)收集以便进行常规处理。在尖头(10)及样品(7)之间的相互扫描移位由XYZ驱动模件(6)完成，它还负责调整尖头(10)的工作距寓。整个显微镜装置装在振荡阻尼系统(4，5)上，且如有需要，可用合适的法兰盘投进真空系统。
基本信息
专利标题 ：
场致发射扫描俄歇电子显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86100036A
申请号 ：
CN86100036.6
公开（公告）日 ：
1986-07-23
申请日 ：
1986-01-03
授权号 ：
CN1009145B
授权日 ：
1990-08-08
发明人 ：
约翰尼斯·乔治·贝德诺尔茨詹姆斯·卡齐密尔茨·吉姆齐夫斯基布鲁诺·赖尔
申请人 ：
国际商业机器公司
申请人地址 ：
美国纽约10504阿蒙克
代理机构 ：
上海专利事务所
代理人 ：
颜承根
优先权 ：
CN86100036.6
主分类号 ：
H01J37/285
IPC分类号 ：
H01J37/285 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/285
放射型显微镜，如场致放射显微镜
法律状态
2001-08-29 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1991-03-13 ：
授权
1990-08-08 ：
审定
1988-06-15 ：
实质审查请求
1986-07-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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