在气态环境扫描电子显微镜的改进型电子探测器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
气态环境扫描电子显微镜的改进型电子探测器装置，该装置的电极几何结构能分离样品表面发出的各种信号，其第一电子探测器与压强限制孔整体形成收集放大的低能二次电子信号。位于压强限制孔稍下方的环状电极组件包括一个细环形成的收集放大的低能二次电子信号的内层电子探测器。及位于其外面的中间电子探测器以收集放大的高能背散射相关信号；还包括位于中间探测器之外的外层电子探测器，以收集放大的低能背散射相关信号。
基本信息
专利标题 ：
在气态环境扫描电子显微镜的改进型电子探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1042029A
申请号 ：
CN89108595.5
公开（公告）日 ：
1990-05-09
申请日 ：
1989-10-14
授权号 ：
CN1018308B
授权日 ：
1992-09-16
发明人 ：
杰拉西莫斯·D·丹尼拉托斯
申请人 ：
电子扫描公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
吴增勇
优先权 ：
CN89108595.5
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 H01J37/244
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
1998-12-02 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-06-23 ：
授权
1992-09-16 ：
审定
1990-05-09 ：
公开
1990-05-09 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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