用于环境扫描电子显微镜的物镜组件/光阑座/检测器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
用于环境扫描电子显微镜的整套电子光学/差压抽气/图象信号检测系统。该显微镜包括：圆柱形物镜磁屏蔽罩14；罩14包括真空衬管22和束流聚焦装置20，一磁性环47邻接罩14的下端并有两个轴向设置的抽气口；至少两个非磁孔板34，36和一终端磁性孔板38装在环47的不同轴向位置并向其内延伸。这些孔板至少确定了分别连通所述抽气口的两个内部通道；一个可拆卸地安装并密封于孔板34，36之中心孔内的光阑座和电子检测装置。
基本信息
专利标题 ：
用于环境扫描电子显微镜的物镜组件/光阑座/检测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1039324A
申请号 ：
CN89101732.1
公开（公告）日 ：
1990-01-31
申请日 ：
1989-02-18
授权号 ：
CN1014568B
授权日 ：
1991-10-30
发明人 ：
杰拉西莫斯·D·达尼拉托斯乔治·C·刘易斯
申请人 ：
电子扫描公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
吴增勇
优先权 ：
CN89101732.1
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
1999-04-14 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-07-15 ：
授权
1991-10-30 ：
审定
1990-03-07 ：
实质审查请求
1990-01-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
