对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统
授权
摘要
本实用新型涉及电子显微镜样品台冷却技术领域，提供一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统。其中，制冷系统包括第一真空腔体、第二真空腔体、对置式压缩机、制冷机及样品台，制冷机位于第一真空腔体内，样品台位于第二真空腔体内，对置式压缩机位于第一真空腔体外并与制冷机柔性连接，制冷机的冷头与样品台相连。本实用新型提供的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，对置式压缩机带动制冷机制冷，制冷机产生的冷量传递至样品台以降低样品台的温度，从而满足不同样品测量环境的温度要求，适用性高；对置式压缩机与制冷机分别位于第一真空腔体的外部和内部，相互分离设置，两者之间柔性连接，减小样品台的振动。
基本信息
专利标题 ：
对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920717862.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN209804582U
授权日 ：
2019-12-17
发明人 ：
陈六彪王俊杰崔晨顾开选郭嘉
申请人 ：
中国科学院理化技术研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村东路29号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
苗青盛
优先权 ：
CN201920717862.4
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/26 F25B9/14
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2019-12-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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