一种集成电路生产用除静电装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种集成电路生产用除静电装置，包括工作台、支撑架、加湿组件以及除静电组件，所述支撑架安装在工作台上表面，所述加湿组件安装在支撑架内顶端，所述除静电组件匹配安装在支撑架内顶端且位于加湿组件下方，且所述加湿组件、除静电组件输出端均朝向工作台。本实用新型通过加湿组件可对工作区域进行加湿雾化处理，保证了工作区域的湿度，避免在工作区域内产生大量的静电，提升了工作人员的工作环境，且在除静电组件的辅助下，可稳定的驱动滑动件以及负离子风扇进行工作，可对工作区域的静电进行循环的中和吸收，进一步提升了整体加工环境，可对工作台区域的静电进行全面的吸收。
基本信息
专利标题 ：
一种集成电路生产用除静电装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022357796.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN215268819U
授权日 ：
2021-12-21
发明人 ：
马艳王晓莹田梅安
申请人 ：
苏州港芯科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区(市高新技术创业服务中心)B幢209-210室
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN202022357796.X
主分类号 ：
H05F1/00
IPC分类号 ：
H05F1/00 H05F3/00 H01L21/67
法律状态
2021-12-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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