除静电方法、除静电装置及基板的防静电方法及其装置
专利权的终止
摘要
本发明提供一种以简单高效的方式对绝缘体实行有效的除静电的除静电方法和除静电装置。其设置有对绝缘体(10)的正面从垂直方向照射硬X射线的硬X射线发生装置(5)。硬X射线发生装置(5)照射大于等于0.05且小于1的硬X射线。硬X射线离子化绝缘体(10)正面的空气来对绝缘体(10)正面的电荷进行除静电的同时，透过绝缘体(10)的透过X射线对绝缘体(10)背面的电荷进行除静电。
基本信息
专利标题 ：
除静电方法、除静电装置及基板的防静电方法及其装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1835653A
申请号 ：
CN200610054726.9
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2006-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
细川好则冈本茂雄益田真之小泉治幸
申请人 ：
欧姆龙株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
高龙鑫
优先权 ：
CN200610054726.9
主分类号 ：
H05F3/06
IPC分类号 ：
H05F3/06 H05F3/04 H01T19/04 H01T23/00 G02F1/133
法律状态
2013-04-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101442521635
IPC(主分类) : H05F 3/06
专利号 : ZL2006100547269
申请日 : 20060302
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20120302
号牌文件序号 : 101442521635
IPC(主分类) : H05F 3/06
专利号 : ZL2006100547269
申请日 : 20060302
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20120302
2008-07-09 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100401859C.PDF
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2、
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