基板等离子除静电工艺
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种基板等离子除静电工艺，在该工艺中，支撑销从四周将基板顶起悬空进行除电，其特征在于该支撑销的高度调节至40mm。本发明对支撑销的上升高度进行改善，有效解决了除静电不充分而造成静电破坏的问题。
基本信息
专利标题 ：
基板等离子除静电工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1997254A
申请号 ：
CN200510112272.1
公开（公告）日 ：
2007-07-11
申请日 ：
2005-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
汪建平
申请人 ：
上海广电NEC液晶显示器有限公司
申请人地址 ：
201108上海市闵行区华宁路3388号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN200510112272.1
主分类号 ：
H05F3/00
IPC分类号 ：
H05F3/00 H01L21/00 G02F1/133
法律状态
2011-03-23 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101077487984
IPC(主分类) : H05F 3/00
专利申请号 : 2005101122721
公开日 : 20070711
号牌文件序号 : 101077487984
IPC(主分类) : H05F 3/00
专利申请号 : 2005101122721
公开日 : 20070711
2008-08-13 ：
实质审查的生效
2007-07-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1997254A.PDF
PDF下载
