一种基板自动除静电装置
授权
摘要

本实用新型提供的一种基板自动除静电装置,包括机架、感应组件、定位组件和除静电组件;所述的机架承载整个装置,固定在厂房内;所述的感应组件位于所述的机架上,与所述的机架固定连接;所述的定位组件位于所述的感应组件的一侧,固定在所述的机架上,对应待清除的基板;所述的除静电组件位于所述的定位组件的上方,面向所述的定位组件,实现去除静电的操作。本实用新型提供的一种基板自动除静电装置,利用定位板组成的定位缝隙将基板竖直定位在空间内,便于负离子气流在基板表面接触,加快除静电效率,同时利用吹气杆上若干吹气口进行吹气,进一步加快工序流程,全程装置可以自动操作,便于嫁接在自动化生产流水线上,提高企业经济效益。

基本信息
专利标题 :
一种基板自动除静电装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122818272.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-17
授权号 :
CN216253321U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
秦勇冯海飞刘斌
申请人 :
苏州市兆众自动化有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市常熟市支塘镇工业园
代理机构 :
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
严明
优先权 :
CN202122818272.0
主分类号 :
H05F3/06
IPC分类号 :
H05F3/06  
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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