一种方硅芯铸锭炉热场结构

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摘要

本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。本实用新型获得了热场稳定、利于晶体生长、能耗降低的优点。

基本信息

专利标题：

一种方硅芯铸锭炉热场结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022358099.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-21

授权号：

CN213113600U

授权日：

2021-05-04

发明人：

徐永亮李振徐养毅张国华

申请人：

苏州昀丰半导体装备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市杨舍镇华昌路沙洲湖科创园A1栋（昀丰）

代理机构：

苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司

代理人：

徐鸣

优先权：

CN202022358099.6

主分类号：

C30B28/06

IPC分类号：

C30B28/06 C30B29/06