一种光源组件的校准装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光源组件的校准装置，包括：内部中空的壳体，固定于壳体底部面板上的支撑件，所述支撑件与所述底部面板形成容腔；位于所述支撑件上的光源组件，所述光源组件包括若干阵列排布的子光源；位于所述容腔内的调节组件，配置为在所述底部面板所在平面上沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动；以及连接固定于所述调节组件的校准件，配置为在所述调节组件的带动下，对每一子光源进行校准。本实用新型可实现不同区域的光源组件的精度检测和调节，可提高光源组件的精度标准，从而提高应用于该校准后的光源组件的半导体检测机的测试精度，进一步提高待测芯片的检测良率，具有广泛的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种光源组件的校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022360250.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN213580025U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
张磊史赛
申请人 ：
苏州华兴源创科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区青丘巷8号
代理机构 ：
北京正理专利代理有限公司
代理人 ：
王喆
优先权 ：
CN202022360250.X
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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