本实用新型公开了一种蚀刻机废气处理装置，包括处理柜、第一排气管、水处理套、抽气扇和轴流风机，所述处理柜内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管，所述处理柜一端开设有抽气口，所述抽气口内通过螺栓安装有抽气扇，所述处理柜另一端连接有第二排气管，所述抽气口排气端上套接有水处理套，所述水处理套内壁固定安装有分水管，所述分水管出水端安装有喷头，所述水处理套顶部设有出气套，所述水处理套一端开设有出气口，所述出气套进气端通过L型气管与水处理套的出气口连接，所述第一排气管进气端与出气套的出气端连接。使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中，由水对气体进行过滤，且过滤处理后的水则排送流入废水箱内，实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理。