本实用新型提供了一种蚀刻预处理装置，属于蚀刻生产技术领域，包括。本实用新型提供的蚀刻预处理装置包括第一清理单元、第二清理单元和转运单元，第一清理单元包括第一传送模块、第一护罩第一喷淋模块、第二喷淋模块、透明观察窗、第一烘干模块和第一液池；第一喷淋模块用于向工件喷淋微蚀剂，第二喷淋模块用于向工件喷淋清水，第一护罩侧壁上设有与第一护罩活动连接的透明观察窗，第一烘干模块用于烘干工件。本实用新型提供的蚀刻预处理装置大大减少了人工参与微蚀清洗的步骤，降低了操作人员的劳动强度，保证微蚀剂的可靠性，提高蚀刻生产整体生产效率，也有利于保护生产环境。