本发明提出的一种蚀刻线滚轮、蚀刻传送线及蚀刻装置，涉及蚀刻设备技术领域。蚀刻线滚轮包括轮轴和若干轮片，若干轮片间隔设置在轮轴上，且相对于轮轴的中线对称分布；并且，从轮轴的中线至其两端方向上的各轮片的直径依次递减。蚀刻传送线包括所述的蚀刻线滚轮；沿输送方向上，若干蚀刻线滚轮水平平行间隔排布。蚀刻装置包括所述的蚀刻传送线，以及设置在所述的蚀刻传送线上侧的上侧喷淋装置，和/或设置在所述的蚀刻传送线下侧的下侧喷淋装置。本发明通过改进蚀刻线滚轮的结构，使得蚀刻传送线的输送面呈凸面，进而使得在线传输时金属掩膜版中间高于其两侧，药液直接向低两侧处流走，不会聚集，彻底避免了“水池效应”的产生。