本案为一种激光蚀刻装置，用以蚀刻一背光模块元件，该激光蚀刻装置包含用以产生一激光光束的一激光光源，用以接收及传送该激光光束的一导光系统，以及用以承载及移动该背光模块元件的一平台，其中该导光系统包含一振镜式扫描系统，用以调整该激光光束打入该背光模块元件的位置。本案的激光蚀刻装置结合了振镜扫描系统和机械平台来蚀刻背光模块元件，因此可对大尺寸模具或元件作高速精密的干蚀刻。