一种ITO薄膜激光蚀刻机

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种ITO薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Z轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Z轴运动系统上，所述吸附盘固定在X轴运动系统上，位于Y轴运动系统的上方，所述X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y轴运动系统固定安装在机架上。本实用新型对ITO薄膜的刻线效率高、线性好。

基本信息

专利标题：

一种ITO薄膜激光蚀刻机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720171149.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-30

授权号：

CN201143596Y

授权日：

2008-11-05

发明人：

高云峰陈夏弟倪鹏玉程文胜李世印

申请人：

深圳市大族激光科技股份有限公司

申请人地址：

518057广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200720171149.1

主分类号：

B23K26/02

IPC分类号：

B23K26/02 B23K26/08 B23K26/42 B23K26/14 B23K26/38 B23K26/40 H01L21/302

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B23

机床；其他类目中不包括的金属加工

B23K

钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工

B23K26/00

用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔

B23K26/02

工件的定位和观测，如相对于冲击点；激光束的对正、瞄准或聚焦

法律状态

2017-12-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B23K 26/02
申请日 : 20071130
授权公告日 : 20081105

2011-03-09 ：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101072679481
IPC(主分类) : B23K 26/02
专利申请号 : 2007201711491
专利号 : ZL2007201711491
合同备案号 : 2011440020004
让与人 : 深圳市大族激光科技股份有限公司
受让人 : 深圳市大族光伏科技股份有限公司
实用新型名称 : 一种ITO薄膜激光蚀刻机
申请日 : 20071130
授权公告日 : 20081105
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20110114

2008-11-05 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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