铜蚀刻液预处理系统

授权

摘要

本实用新型涉及一种铜蚀刻液预处理系统，包括依次连接设置的用于制备铜蚀刻液的反应釜、用于对铜蚀刻液进行初步过滤的初步过滤装置和用于对铜蚀刻液进行二次过滤的二次过滤装置；反应釜的出液口与初步过滤装置的进液之间设有第一水泵，初步过滤装置的出液口与二次过滤装置的进液口之间设有第二水泵；初步过滤装置和二次过滤装置内均可拆卸连接有多层过滤芯。本实用新型预在处理工序进行一段时间后可以较易的从初步过滤装置和二次过滤装置拆下过滤芯，更换洁净的过滤芯，确保初步过滤装置和二次过滤装置能够保持高质高效的过滤性能，提高铜蚀刻液预处理的效率和过滤效果，达到提高提高铜蚀刻液纯度的效果。

基本信息

专利标题：

铜蚀刻液预处理系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020886752.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-23

授权号：

CN212417181U

授权日：

2021-01-29

发明人：

范晨君崔文斌崔文晶朱伟国杨居张玉群

申请人：

苏州华锋环保技术有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区浒墅关分区阳山工业园19幢

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020886752.3

主分类号：

B01D29/56

IPC分类号：

B01D29/56 B01D29/96 B01D29/01 B01J19/18