用于真空封合之密封碟盘

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摘要

一种用于真空封合之密封碟盘，适用于往复地移动至开启位置或关闭位置以开启或封合全金属阀之阀口。密封碟盘之密封板形成有第一密封面，密封碟盘于关闭位置系以第一密封面直接抵接全金属真空阀之阀口。本实用新型藉由金属材质之密封面相互抵接时的补偿运动和调节运动，可提高真空封合性及延长使用寿命。

基本信息

专利标题：

用于真空封合之密封碟盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022375485.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-23

授权号：

CN214093282U

授权日：

2021-08-31

发明人：

胡晓赵烨梁张少辉寇崇善王衍圣王志纮许俊树林赐民蔡铭昇顾文伟

申请人：

中国科学院上海高等研究院;中国科学院上海应用物理研究所;日扬电子科技（上海）有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区海科路99号

代理机构：

北京思格颂知识产权代理有限公司

代理人：

潘珺

优先权：

CN202022375485.6

主分类号：

F16K51/02

IPC分类号：

F16K51/02 F16J15/02