一种用于静电吸附的双极性直流高压模块

授权

摘要

本实用新型公开一种用于静电吸附的双极性直流高压模块，包括主控制电路、接口监控电路、高压反馈调控电路、整流倍压电路；所述主控制电路分别与接口监控电路、整流倍压电路一端、高压反馈调控电路一端电性连接；所述高压反馈调控电路另一端与整流倍压电路另一端电性连接。本实用新型通过巧妙的电路设计原理，实现低成本，高可靠性，仅需调整个别器件即可实现不同最大电压输出的功能；同时，对高压模块的一些关键参数做到监测，在使用过程中完全掌握和监控高压模块的工作过程和主要的技术参数，通过本电路都能及时的监控和检测到，高压模块在使用过程中出现任何不良情况，都能及时的检测到，避免出现严重的安全事故。

基本信息

专利标题：

一种用于静电吸附的双极性直流高压模块

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022425249.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-27

授权号：

CN213069626U

授权日：

2021-04-27

发明人：

卢国强潘明松

申请人：

深圳市优界科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区凌屋工业路9号厂房201

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司

代理人：

彭西洋

优先权：

CN202022425249.0

主分类号：

G05F1/56

IPC分类号：

G05F1/56